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潔淨(jìng)度等級表

日期:2025-10-02 18:44
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摘要:ISO-14644的潔淨(jìng)度等級表。 一、淨(jìng)化工程潔淨(jìng)室主要根據(jù)室內(nèi)潔淨(jìng)度、氣流形式、控製對象、結(jié)構(gòu)等特點(diǎn)分類。按室內(nèi)潔淨(jìng)度分類主要分為1級、10級、100級、10000級、10000級。按控製對象分類分為工業(yè)潔淨(jìng)室和生物潔淨(jìng)室。工業(yè)潔淨(jìng)室以空氣中的懸浮塵埃為控製對象,生物潔淨(jìng)室以懸浮生物粒子(微生物)為控製對象。潔淨(jìng)室它是懸浮粒子濃度受控,其建造和使用方式使得進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留於室內(nèi)的粒子較少的房間。室內(nèi)的其它參數(shù)包括:溫度、溫度、氣壓等,按需要受控。

ISO-14644的潔淨(jìng)度等級表

一、淨(jìng)化工程潔淨(jìng)室主要根據(jù)室內(nèi)潔淨(jìng)度、氣流形式、控製對象、結(jié)構(gòu)等特點(diǎn)分類。按室內(nèi)潔淨(jìng)度分類主要分為1級、10級、100級、10000級、10000級。按控製對象分類分為工業(yè)潔淨(jìng)室和生物潔淨(jìng)室。工業(yè)潔淨(jìng)室以空氣中的懸浮塵埃為控製對象,生物潔淨(jìng)室以懸浮生物粒子(微生物)為控製對象。潔淨(jìng)室它是懸浮粒子濃度受控,其建造和使用方式使得進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留於室內(nèi)的粒子較少的房間。室內(nèi)的其它參數(shù)包括:溫度、溫度、氣壓等,按需要受控。


二、ISO-14644的潔淨(jìng)度等級表。

   潔淨(jìng)室及潔淨(jìng)空氣中懸浮粒子的潔淨(jìng)度等級ISO-14644 

空氣潔淨(jìng)度等級(N

≥表中粒徑的*大濃度限值(個/m3

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1

10

2

/

/

/

/

2

100

24

10

4

/

/

3

1000

237

102

35

8

/

4

10000

2370

1020

352

83

/

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

/

/

/

352000

83200

2930

8

/

/

/

3520000

832000

29300

9

/

/

/

35200000

8320000

293000

 潔淨(jìng)度等級表(ISO 14644標(biāo)準(zhǔn))?
?ISO等級? ?≥0.1μm粒子限值(個/m3)? ?≥0.5μm粒子限值(個/m3)? ?典型應(yīng)用場景?
?ISO 1級? ≤10 ≤2 納米級半導(dǎo)體製造
?ISO 3級? ≤1,000 ≤102 **芯片光刻區(qū)
?ISO 5級? ≤100,000 ≤3,520 生物製藥A級無菌灌裝區(qū)、百級手術(shù)室
?ISO 7級? ≤352,000 萬級潔淨(jìng)車間(電子裝配、醫(yī)療器械生產(chǎn))
?ISO 8級? ≤3,520,000 十萬級食品包裝、普通實(shí)驗(yàn)室


 ?核心分類與行業(yè)適配?
?工業(yè)潔淨(jìng)室?
?控製對象?:懸浮塵埃粒子(如0.1μm~5.0μm常規(guī)粒子)
?典型等級?:
?ISO 1-3級?:半導(dǎo)體晶圓製造(帶寬<2μm工藝)
?ISO 5-7級?:液晶麵板組裝、精密液壓設(shè)備裝配7
?生物潔淨(jìng)室?
?控製對象?:懸浮微生物及超微粒子(<0.1μm)
?典型等級?:
?ISO 5級?:無菌藥品分裝、移植手術(shù)室(動態(tài)百級)
?ISO 7-8級?:食品微生物檢測、普通生物實(shí)驗(yàn)室
 ?特殊行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)對照?
?醫(yī)藥GMP規(guī)範(fàn)?:A級區(qū)對應(yīng)ISO 5級(微粒≤3520個/m3且微生物<1CFU/m3)
?中國GB 50073?:對電子廠房增設(shè)0.1μm微粒動態(tài)控製(如ISO 5級要求0.1μm粒子<1000個/m3)


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