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什么是微電子凈化工程解決方案相關(guān)
日期：2025-10-02 13:22
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摘要：什么是微電子凈化工程解決方案相關(guān), 無(wú)塵車(chē)間梓成凈化在此與大家一起去探討一下。
一、微電子技術(shù)是建立在以集成電路為核心的各種半導(dǎo)體器件基礎(chǔ)上的高新電子技術(shù)，特點(diǎn)是體積小、重量輕、可靠性高、工作速度快，微電子技術(shù)對(duì)信息時(shí)代具有巨大的影響。
二、微電子無(wú)塵潔凈室三塵原則：
A、禁塵。即指整個(gè)無(wú)塵潔凈室內(nèi)禁止有塵埃，而且還明文規(guī)定在多少范圍內(nèi)的氣流多少。
B、帶塵。禁止人員帶塵進(jìn)入無(wú)塵潔凈室，任何進(jìn)入無(wú)塵潔凈室的人員全部能過(guò)風(fēng)淋室緩沖通道吹淋后方可進(jìn)入。（風(fēng)淋室是員工進(jìn)入潔凈室或無(wú)塵車(chē)間必備的凈化設(shè)備之一，它可以有效地減少員工進(jìn)出潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題，對(duì)進(jìn)入無(wú)塵潔凈室車(chē)間中起到很大作用。）
C、產(chǎn)塵。禁止無(wú)塵潔凈室車(chē)間內(nèi)部產(chǎn)塵，四周禁止有塵埃死角盲區(qū)，全部采用內(nèi)、外圓弧收邊
三、微電子凈化工程解決方案相關(guān)：
A、微電子凈化工程一般包括：
1、潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）
B、微電子凈化工程凈化參數(shù)：
1、換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa
2、平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0、3－0、5m/s。
3、溫度冬季＞16℃；夏季＜26℃；波動(dòng)±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
4、噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。
C、微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
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